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                耐磨陶瓷
                碳化硅陶瓷結構件
                發(fā)表時(shí)間:〖2021/4/20〗    瀏覽次數:〖2548



                二、碳化硅導軌框架

                我單位生產(chǎn)的碳化硅導軌及框架具有耐壓性、不泄露等特點(diǎn),適用于光刻機及刻蝕機的等裝備的關(guān)鍵部位。

                主要技術(shù)指標:

                3:導軌框架性能指標


                  








                16 多孔吸盤(pán)面型


                四、碳化硅反射鏡

                基于碳化硅陶瓷材料的優(yōu)異性能,結合本單位碳化硅結構件的制備工藝,開(kāi)發(fā)出具有復雜輕量化結構及面型精度的機載、車(chē)載碳化硅反射鏡,并將反射鏡制備技術(shù)用于無(wú)人車(chē)自動(dòng)駕駛激光雷達用碳化硅反射鏡片,為無(wú)人駕駛汽車(chē)自動(dòng)駕駛提供“眼睛”,實(shí)現了碳化硅反射鏡在民用領(lǐng)域的應用。


                五、其他碳化硅陶瓷部件

                   除此之外,本單位還生產(chǎn)碳化硅陶瓷手臂,碳化硅陶瓷托盤(pán)等高精密部件,用于IC制造行業(yè)的硅片傳輸及刻蝕機用晶圓的承載,為IC制造業(yè)提供支撐。







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